VUV-Strahlung
VUV-Strahlung bezeichnet den Spektralbereich elektromagnetischer Strahlung, der im kurzwelligen Bereich an das UV grenzt. Der Spektralbereich ist nicht genau definiert. Das langwellige Ende liegt bei etwa 190 Nanometern. Das kurzwellige Ende variiert zwischen 5 und 140 Nanometern. Das kurzwellige Ende des VUV-Spektralbereichs grenzt je nach Definition an den Bereich der EUV-Strahlung, oder an die weiche Röntgenstrahlung.VUV ist eine Abkürzung für Vakuum Ultraviolett.
Der VUV-Spektralbereich ist ein Teilbereich des Ultraviolettstrahlungs-Spektralbereichs.