Siliziumnitrid
Siliziumnitrid ist eine chemische Verbindung und Bestandteil eines technischen Werkstoffes.
- chemische Formel: Si3N4
- pulverförmiges Verbrennungsprodukt der Silane
Verwendung
Siliziumnitrid ist Grundlage einer nichtoxid-Keramikart, die sich ähnlich wie Siliziumkarbid durch besondere Härte und Zähigkeit auszeichnet. Durch den geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten eignet sich Si3N4-Keramik besonders beim Bau von Hochleistungsmotoren (Formel 1) und in diversen Forschungsbereichen.
So werden beispielsweise die Messspitzen (Cantilever) mit denen bei Rasterkraftmikroskopen Proben bis in den atomaren Bereich aufgelöst werden, und die aus Silizium-Wafern hergestellt werden, an ihrer Oberfläche durch eine Siliziumnitritschicht besonders widerstandsfähig gegen mechanischen Verschleiß gemacht.
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