Niederdruckplasma
Ein Niederdruckplasma ist eine spezielle Form eines Plasmas, bei welchem der Gasdruck signifikant niedriger ist, als Atmosphärendruck.Typische technische Niederdruckplasmen werden im Druckbereich weniger Pascal betrieben, als bei Drücken, die um einen Faktor 10000 geringer sind als der normale Luftdruck. Typisch für Niederdruckplasmen ist eine mittlere freie Weglänge (der Elektronen), welche größer ist, als die Debye-Länge.
Table of contents |
2 Technische Anwendungen 3 Charakteristische Eigenschaften 4 Literatur 5 siehe auch |
Niederdruckplasmen kommen im Weltall in leuchtenden Gasnebeln vor, bzw. Polarlichter können auch als Niederdruckplasma bezeichnet werden..
Niederdruckplasmen sind unverzichtbare Schritte bei der Herstellung
mikroelektronischer Bauelemente (Plasmaätzen).
Ferner werden Niederdruckplasmen zu einer Vielzahl von Beschichtungsaufgaben
eingesetzt, Beispiele sind:
Bei Niederdruckplasmen ist infolge des niedrigen Drucks die typische mittlere freie Weglänge so gross, dass Stossprozesse "selten" sind. Entsprechend sind die unterschiedlichen Teilchensorten (Schwerteilchen, Elektronen) nicht im thermischen Gleichgewicht, d.h. besitzen unterschiedliche Temperaturen.
Bei Technischen Niederdruckplasmen werden über selektive Heizung der Elektronen
Elektronentepmeraturen von einigen Elektronenvolt (mehreren 10000 K) erreicht, während die Temperatur des Neutralgases wenig über Zimmerteperatur liegt. Dadurch können auch thermisch sensible Materialien wie Kunstoffe mittels Niederdruckplasmen bearbeitet werden.
Wesentlichen Anteil an den technologisch verwertbaren Eigenschaften haben die Randschichten, also der Übergangsbereich vom Plasma zur Wand oder zum Werkstoff.
Natürliches Vorkommen
Technische Anwendungen
Charakteristische Eigenschaften
Literatur
siehe auch
nichtthermisches Plasma