Arsin
Arsin ist die Bezeichnung für Arsenwasserstoff (chemische Formel AsH3), ein äußerst giftiges Gas, das bei der Auflösung von salzartigen Arseniden in Wasser und verdünnten Säuren entsteht.
- Schmelzpunkt: −117 °C
- Siedepunkt: −62,5 °C
Trotz seiner unrühmlichen Vergangenheit ist Arsin heute ein durchaus gebräuchliches technisches Produkt. In der Halbleiterindustie wird Arsin als Dotiergas im großen Stil und in nicht unbedeutender Menge im Rahmen der thermischen Dotierung von Silicium im Diffusionsofen-Prozess und bei der Ionenimplantation eingesetzt wird.
Technisch wird Asin in einstufiger Reaktion durch sauere Hydrolyse von Arseniden hergestellt. Üblich und sehr einfach durchzuführen ist z.B. die Hydrolyse von Zinkarsenid in nicht-oxidierender, wässriger Säure. Bei sorgfältiger Auswahl der Ausgangstoffe, läßt sich auf diesem Weg ein sehr reines Arsin erzeugen. Weiterhin liefert auch die Hydrierung von Arsen (III) chlorid [AsCl3] mittels LiAlH4 oder NaBH4 reines Arsin. Auch die elektrochemische Herstellung von Asin ist ein gangbarer Weg, der schnell an Bedeutung gewinnt, Die elektrochemische Synthese erlaubt die relativ gezielte ad-hoc Herstellung definierter Arsinmengen. Die ersten Patente zur elektrochmischen Herstellung von Arsin und andere Hydride wurden bereits zu Beginn der 90er Jahre veröffentlicht.
Die Entsorgung von Arsinrückständen ist nicht unproblematisch, da sich alle Arsin-Folgeprodukte extrem toxisch und gesundheitsschädlich sind. Üblich ist die Absorption an Aktivkohle, die nach Gebrauch als Sondermüll in speziellen Tiefdeponien endgelagert werden muß.